反応性プラズマ中ナノ粒子量揺らぎのクロスコリレーション解析

抄録

プラズマナノプロセスにおいて、プラズマとナノ界面との相互作用の解明が重要である。本研究では、反応性プラズマ中のナノ粒子をナノ界面のモデルとして研究を行い、ナノ粒子成長制御において、プラズマとナノ粒子の非線形結合が重要であることを明らかにした。今回、非線形結合機構を明らにするため、2次元レーザー散乱法で計測したナノ粒子量の時空間ダイナミクスについてクロスコリレーション解析を行った。揺動の基本波と高調波、分数調波との間で高い相関が得られた。この結果は基本波の揺動からのエネルギーが高調波、分数調波へと輸送されていること示している。