層状物質CuFeTe₂セラミックスを用いた酸素センサの作製条件の検討

抄録

我々は酸素インターカレーションを利用した素子を加熱せずに室温動作する低消費電力新規酸素ガスセンサの開発を行っている。これは層状化合物半導体CuFeTe2において、選択的に酸素インターカレーションが生じ、酸素分圧に依存してインターカレーション量が決まるために、その電気抵抗が可逆的に変化することを動作原理としている。今回、高c軸セラミックス試料を作製して、室温での酸素分圧応答特性の実験を行い、試料の感度を上げるため、試料の作製条件を検討した。