DES浴から成膜した軟磁性めっき膜に与える電流密度の影響

抄録

深共晶溶媒（DES: Deep Eutectic Solvent）は，水には無い多くの工業的特長を有していることから，めっき膜作製における新規溶媒として期待されている。これまでに我々は，DESを用いためっき浴からFe基軟磁性膜を高い電流効率で作製可能であることを示してきた。工業的応用を鑑みると，高い成膜速度を有するプロセスが有利であり，めっき条件の一つである電流密度は，成膜速度に影響を与える大きなパラメータの一つである。本稿では，DES浴から様々な電流密度で軟磁性膜を作製し，電流密度が各種特性に与える影響を評価したのでその結果を報告する。