誘電泳動集積法によって作製したZnOナノワイヤセンサを用いたアセチレン及び水素の検出

抄録

油入変圧器内で生じた電気的・熱的異常によって、絶縁油が分解され炭化水素系のガスが発生する。これらのガスは絶縁油に溶存することで絶縁耐力を低下させ、事故の原因となる。また、発生するガスの濃度や組成を定量的に検出することで内部異常の種類を特定できることが知られている。本研究では操作が簡便かつ集積量の制御が容易という利点を持つ誘電泳動集積法を用いて、マイクロ櫛歯電極間にZnOナノワイヤを集積させてセンサを作製した。さらに同センサを用いて異常ガスの中でも初期異常に多く発生する水素と、アーク放電が発生した際に多く発生するアセチレンを検出し、その温度特性を比較することで選択的なガス検出の可能性を調査した。