XPSの結合エネルギー基準に関するSeah氏の功績

抄録

Seah氏の重要な功績の1つとして，X線光電子分光法（XPS）の結合エネルギー基準を定めたことが挙げられる．現在市販されているXPS装置のエネルギー軸の校正法は，ISO 15472に記載されているが，Seah氏が1998年に論文[1]にまとめたエネルギー基準を参照値としている．本解説では，どのような検討に基づいてエネルギー基準を定めたのか，論文[1]の内容を中心に解説する．