抄録
従来のMg Kα線およびAlKα線を用いたXPSに比べて，バルク敏感な化学状態分析を非破壊で行うために，単色化Cr Kα線および単色化Ga Kα線が装着された実験室系HAXPESの検討を行っている．AgとCuに関しては，Ag 3d5/2およびCu 2p3/2光電子ピークのケミカルシフトが比較的小さいため，非弾性平均自由行程 （IMFP） の大きなAg L3M4,5M4,5およびCu KL2,3L2,3オージェ電子を用いたバルク敏感な化学状態分析を検討している．本報告では，13種類のAg元素を含む試料（Ag，Ag0.09P0.1Cu0.81, Ag0.6Cu0.4, Ag2O, Ag2O2, Ag2S, AgI, AgBr, AgCl, AgF, Ag2CO3, AgNO3, and Ag2SO4）を用いて単色化Cr Kα線励起によるAg 3d5/2 − Ag L3M4,5M4,5およびAg 2p3/2 − Ag L3M4,5M4,5の修正オージェパラメーターならびに5種類のCu元素を含む試料（Cu，Cu0.6Zn0.4，Cu2O，CuBr，CuO）を用いて単色化Ga Kα線励起によるCu 2p3/2 − Cu KL2,3L2,3の修正オージェパラメーターを測定し，これらのワグナープロットを作成した．また，本検討結果を溶解・凝固した銀ろう（Ag0.6Cu0.4）表面に形成される酸化層の化学状態分析に適用し，有効な手法であることが確認された．
