抄録
円形断面工具では中央にキャビテーションが発生することにより砥粒進入が抑制され, 加工穴には突起が生じる原因となっていた. ところが矩形断面工具ではキャビテーション渦が対角線上に対称的に現れると, 逆に加工部分への砥粒進入を促進していることがわかった. それにより工具の形状比 (縦と横の寸法比) を変えると断面積が同じであっても加工速度に変化が生じる. それを詳細に確かめるため異なる形状比の矩形断面工具を作成してSiCの超音波底付穴あけ加工を行い, その加工特性を調査した. 同時に矩形断面を分割した工具によるキャビテーションの発生状況を調べ, それが加工特性に及ぼす影響についても検討した.
その結果, 矩形断面工具で形状比が1:1.5の場合が最も大きい平均加工速度1.4μm/sが得られ, 分割工具は形状比が同じである対称工具に最適加工速度が存在することがわかった.
