論文
AFMスクラッチによる光ファイバ端面加工特性の評価
2010 年 54 巻 10 号 p. 607-612
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2010 年 54 巻 10 号 p. 607-612
石英ガラス製である光ファイバ端面へAFM触針によるスクラッチ加工を行いその特性を評価した．触針の材質としてダイヤモンドおよびシリカ（SiO2），セリア(CeO2)，アルミナ(Al2O3)，ジルコニア(ZrO2)などの化学的な作用も研磨砥粒として持つ材質についても検討した．さらに液中スクラッチにおいて液のpHを変化させ，その影響も検討した．加工はコネクタフェルールに装着されたファイバ端面のコア近傍を液中で矩形状にスクラッチ加工し評価した．その結果，シリカ，ダイヤ触針ではpHが高くなると加工量が増え，特にシリカではファイバ端面加工と触針磨耗がほぼ同量程度起きていることがわかった．また他の材料の触針でもpHに対しその材料特有のスクラッチ特性を示した．
