抄録
ソーダライムガラス研磨板を用いて単結晶ダイヤモンド試料の砥粒レス研磨加工を行い,その除去速度と試料温度について調査を行った.その除去速度は,同条件で鋼研磨板により研磨加工を行った場合に比べて,1桁近く高い値となったが,平衡状態に達したときの試料温度は,約90℃低かった.ソーダライムガラス研磨板による高い除去速度は,加工面温度が上昇するためではないと結論した.また,加工面から固定治具に流れる単位時間当たりの熱量の評価から加工面の温度を考察し,鋼による砥粒レス研磨においてもダイヤモンド表面温度が支配的な要素ではない可能性を示した.