ミリバブルを含有したスラリーのラップ定盤上でのスラリー挙動

抄録

ラッピング加工では定盤上に供給されるスラリーの挙動によって，ウェーハの寸法精度や研磨能率が影響される．しかしながら，加工部でのスラリーの挙動は上定盤があるために見ることができず，現場作業者の経験に頼ってきた．そこで，本研究では4wayラップ盤の上定盤をスラリー供給用の穴を設けたアクリル板で代替し，加工部を可視化した．そして，その穴からスラリーを溝無し定盤上に供給し，定盤上でのスラリー挙動を明らかにした．また，太さの異なる3種類のチューブを組み合わせて，スラリーに気泡を混入できる供給方法を考案し，定盤上で広がるスラリーに数mmサイズの気泡を含有させることができるようにした．その結果，気泡を含有したスラリーは通常のスラリーに比して2倍弱程度まで定盤上で広がることを明らかとした．また，スラリー中の気泡は定盤とウェーハ間には進入できないため，研磨能率には影響を与えない可能性を示した．