1A1-2F-F2 振動子アレイを用いた材質のセンシングに関する研究 : 接触振動特性変化による材質のセンシングについて

抄録

PZT型バイモルフは, 曲げにより電圧を生じることからアクチュエータのみならずセンサとして利用できるという報告がされている。今回, このセンサとしての特性を用いた材質のセンシングへの利用について研究を行った。