偏光分離2画像を用いたエッチング部品断面形状計測技術

抄録

表面にテクスチャが存在するエッチング部品の垂直上方から縞パターンを投影し, 反射画像 h(x) を検出する. また, 縞パターンを投影しないもう1つの光学系で反射画像 g(x) を検出し h(x)/g(x) からテクスチャの影響を低減した縞画像信号 f(x) を得た. 2つの光学系を1つの装置に組込み, 偏光を用いて2つの画像を分離した. 表面粗さRaが0.58μmの部品の表面形状を±1.0μm以下の誤差で測定した.