磁気軸受と空気軸受に支持されたポリゴンスキャナモータの軸方向振動

抄録

受動形スラスト磁気軸受と動圧空気軸受で支持されたレーザスキャナモータの軸方向振動について, 現象の詳細な観測を行った. 本研究の結果 (1) 平板形モータの磁気反発力によって, 起動停止時に軸方向の静変位と過渡振動が生じることを明らかにし, (2) 振動の抑制策としてステータ側の開口を封止する構造の空気ダンパを考案し, 良好な減衰効果が得られることを実証した.