低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価

抄録

低熱膨張ガラス (クリアセラム) 製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確さの評価を行った. 使用したクリアセラム材の熱膨張係数はスチールに比べ約1/140である. リンギング, 干渉信号の端数測定等の不確かさ要因の評価を行い, 呼び寸法1000mmのクリアセラム製長尺ブロックゲージに対して, 標準不確かさ36nmという結果を得た. この不確かさはスチール製ブロックゲージに対する不確かさの約半分である.