パルス化TEM内での極小熱電対を利用した熱輸送計測法

抄録

独自開発の極小熱電対と電子線による加熱を組み合わせたTEM内熱輸送計測手法について紹介する．従来の定常法をベースとしたTEM内熱輸送評価法の技術を応用し，EDMの導入により加熱源をパルス化することで，試料内での温度波の位相・振幅測定に基く新たなTEM内熱拡散率測定法を開発した．