円筒形種結晶を用いた合成石英の欠陥評価

抄録

円筒形種結晶を使った合成石英の欠陥に関してX線トポグラフ法によって解析した。これまで観察されなかった欠陥の少ない成長領域が観察でき、この円筒形種結晶を使用した石英の製造技術の発展が今後期待できる。