マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第27回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第27回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
顕微ラマンイメージングによる高温状態の電極付4H-SiC結晶の残留応力分布に関する研究
*諏訪 智志, 東郷 考起, 水野 修吾, 須田 潤
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p. 239-242

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