大気圧低温プラズマジェットによるCVD

マテリアルライフ学会誌

Online ISSN : 2185-7016
Print ISSN : 1346-0633
ISSN-L : 1346-0633

大気圧低温プラズマジェットによるCVD

黒田真一, 鶴本康彦

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ジャーナルフリー

2006 年 18 巻 3 号 p. 101-104

DOI https://doi.org/10.11338/mls2001.18.101

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