ネットワークポリマー
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総説
感光性フィルムの特性と応用
村上 泰治
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2013 年 34 巻 5 号 p. 253-260

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抄録
フィルム状の感光性材料である感光性フィルムの特徴と応用例を紹介するとともに,感度や解像度など,代表的な特性とそれを支配する因子を中心に解説した。感度については,マトリックスの影響に加え,現在主流のヘキサアリールビイミダゾール系光開始剤の光開始機構と高感度化手法について紹介した。解像度に関しては,光吸収や光散乱などの光学的な側面と,現像時膨潤の影響について言及した。さらに,膜強度向上のための手法についても技術動向を紹介した。
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© 2013 合成樹脂工業協会
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