走査電子顕微鏡による新規の液中観察技術の開発

抄録

走査電子顕微鏡（SEM）は，ナノメーターの分解能で様々なサンプルを直接観察が可能な装置である。これまで，SEMで溶液中の試料を観察できる，様々な大気圧試料ホルダーが開発されてきた。 しかし，こうした大気圧ホルダーは，電子線を直接溶液中の試料に入射するため電子線ダメージが生じる。 さらに，非常にコントラストが低く試料の観察が困難であった。最近，我々は，溶液中の試料をダメージ無く，高コントラストで観察する新たな装置を開発した。この方法では，溶液中の生物試料やナノ粒子，有機材料等を直接簡便に観察することが可能である。