解説
ZnOエピタキシーの最近の進展
2003 年 72 巻 6 号 p. 705-710
詳細
2003 年 72 巻 6 号 p. 705-710
最近ZnOが注目を集めている．ZnOは古い材料であり，ヴァリスター，ガスセンサー，日焼け止めなどに利用されてきた．励起子レーザーの室温発振を契機として，光材料，電子材料として新しい局面が開かれつつある．デバイス化に向けては，高品質薄膜の成長，ヘテロ構造形成，混晶制御，伝導制御，デバイスプロセスなど解決すべき課題は多いが，着実な進展を見せ，ZnOの持ち味を生かしたデバイスが生まれつつある．本稿は主にZnOのエピタキシーに重点を置いて最近の進展を概観する．
