高品質ダイヤモンドホモエピタキシャル薄膜を用いて,ダイヤモンド短ゲートMESFETを作製した.ダイヤモンドでは最高の高周波特性(遷移周波数 fT=25GHz,最大有能電力利得(MAG),最大単方向電力利得(U)に対する最高発振周波数はおのおの fmax (MAG)=63GHz,fmax (U)=81GHz)を示し,初めてミリ波帯での増幅を実現した.1GHz,A級動作の電力測定では広い範囲で14dBの線形電力利得を示し,最大出力電力は0.35W/mmになった.高周波雑音特性を初めて測定し,最小雑音指数(Fmin)は3GHzで1dB程度となり,低雑音性を示すことがわかった.