最近の展望
プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望
2004 年 73 巻 4 号 p. 470-475
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2004 年 73 巻 4 号 p. 470-475
従来の分折機器をマイクロサイズにしたµ-TAS (micro-Total Analytical System)技術の一つの出口として，使い捨て型医療用バイオチップの開発が展開されている．プラズマプロセス，特にエッチング技術は血液，たんぱく質，DNAなどの分析用流路・構造や部品の形成に活躍している．本稿は，石英板微細加工によるヘルスケアチップ，電気浸透流ポンプ，セルソーターチップ，ナノピラーを用いたDNA高速電気泳動分離チップ，パーマロイ加工による流路と磁気ビーズを用いたアフィニティアッセイチップなどのわれわれの最近の技術を紹介し，最後に今後の展開を述べる．
