研究紹介
親指サイズ電子顕微鏡の研究・開発
2004 年 73 巻 4 号 p. 476-480
詳細
2004 年 73 巻 4 号 p. 476-480
親指サイズの超小型電子顕微鏡を開発している．その第一のコア技術であるセラミックス一体型コラムを試作した．セラミックス一体型コラムは導電性セラミックスの円筒内面に，すべての電子光学エレメントを一体で形成する技術である．安定した高抵抗導電性を示すアルミナベースの導電性セラミックス材料を開発し，かつ，高精度研磨加工により各レンズ電極をセラミックス円筒内に集積して形成することができた．
二次電子画像観察を通してコンセプトを検証することができ，このセラミックス一体型コラムをベースにしてポータブルSEMの試作機を製作した．
