これから本格的に実用化の時期を迎える薄膜シリコン系太陽電池の現状を紹介するとともに,将来を展望した.アモルファスシリコン太陽電池に関しては,製品レベルの大面積モジュールの変換効率が8%まで向上し,その特徴を生かした分野から応用が始まった.しかし,研究開発の焦点は,アモルファスシリコンから微結晶シリコンへと移りつつある.微結晶シリコン系では,高効率化のほか,高速製膜が重要な開発要素となる.これまでにアモルファスシリコン/微結晶シリコンタンデム型太陽電池モジュールで13%を超す変換効率が報告されている.さらに,2010年以降の実用化を目指す新しい材料系として微結晶SiGeCを提案し,製膜に関する初期データを紹介した.