サブ波長格子

−バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ−

抄録

SiとGaAs試料表面からのフレネル反射を防止するために，バイオミメティック(生体模倣)な考察により，サブ波長格子を製作した．これにより，それぞれ光検出と光放出の効率を改善できる．また，導波モード共鳴格子効果を用いたサブ波長シリコン構造を構造色フィルターのために研究した．可変フィルターを目的として静電マイクロアクチュエーターを備えた周期可変導波モード共鳴格子を提案し，シリコン・マイクロマシニングにより試作した．