最近の展望
反応性プラズマを用いたナノ粒子の気相合成とナノ粒子含有膜堆積への応用
2006 年 75 巻 4 号 p. 447-450
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2006 年 75 巻 4 号 p. 447-450
ナノ粒子に代表されるナノブロックを合成し，それを設計図どおりに組み合わせ三次元構造を作製する量産ナノ加工技術の構築を目指した研究として，反応性プラズマを用いたナノ粒子の気相合成と，ナノ粒子含有膜堆積への応用に関して紹介する．この方法では，数nmサイズのナノ粒子を狭いサイズ分散で合成した後，基板上へ輸送し，ラジカルとともに堆積する．1回のプロセスでナノ粒子含有薄膜を堆積でき，しかも同一の装置と材料を用いて，1.7〜3.5の比誘電率を制御性よく実現できる．
