応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
有機分子デバイスの製膜技術II 印刷法
八瀬 清志
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2008 年 77 巻 2 号 p. 173-177

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抄録

室温,大気圧下での大面積かつ微細パターンの印刷法としてのマイクロコンタクトプリント(μCP)法を概説し,有機デバイス用の各種部材のサブμmでのパターニングの現状を紹介する.また,μCP法を応用した核形成と結晶成長による高品質薄膜の作製技術を述べる.

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© 2008 公益社団法人応用物理学会
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