解説
マイクロ・ナノメカトロニクス
2010 年 79 巻 8 号 p. 726-728
詳細
2010 年 79 巻 8 号 p. 726-728
マイクロ・ナノメカトロニクス（MEMS/NEMS）技術は，次世代の半導体エレクトロニクスにMore than Moore的な高付加価値をもたらす技術として期待されている．本ロードマップでは，マイクロセンサー，アクチュエーター，システム，MEMSによるサービスなど，シーズとニーズの両方から将来の展望を述べる．
