最近の展望
小型冷凍機の進展と今後の展望
2011 年 80 巻 5 号 p. 407-410
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2011 年 80 巻 5 号 p. 407-410
極低温小型冷凍機は，主に半導体製造装置の真空排気用クライオポンプと低温超伝導磁石を用いたMRI，NMR，MCZ（シリコン単結晶引上げ装置用磁場印加装置）などに使用されている．近年，到達温度が4K以下に達したため，低温超伝導磁石の冷却が簡便となり普及してきた．一方，高温超伝導機器の開発では，特に，電力機器用途が加速されている．しかし，現存の小型冷凍機では温度範囲はカバーできるが，要求仕様を全て満足することはできない．ここでは，小型冷凍機の進展と今後の高温超伝導機器用途への展望を述べる．
