2011 年 80 巻 6 号 p. 473-478
軽くて折り曲げられる柔らかな有機ELデバイスや太陽電池は,次世代ユビキタス社会に向けて注目されており,現在のガラス基板だけでなくプラスチック基板の利用が進められている.エレクトロニクスデバイス用途で要求される水蒸気バリア度は,例えば,太陽電池のバックシート用途で10-2〜10-4g⋅m-2⋅day-1,有機EL基板用途で10-5〜10-6g⋅m-2⋅day-1である.しかしながらこの条件を満たすプラスチック基板を評価する手法が確立されていない現実がある.本報では,フレキシブルエレクトロニクスデバイス分野で用いられているハイバリアフィルムのガスバリア性評価について概説する.