最近の展望
フレキシブルディスプレイ形成時の内部応力による諸現象
2011 年 80 巻 6 号 p. 499-503
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2011 年 80 巻 6 号 p. 499-503
フレキシブルディスプレイの実現に当たっては，有機膜／無機膜の積層構造がいろいろな局面で必要とされる．今回，有機膜上にプラズマCVDで無機膜（SiOxNy 膜）を高温で成膜する際の無機膜にクラックやしわが発生する問題の検討を行った．その結果，SiOxNy の成膜温度が，有機膜材料のガラス転移点（Tg）を超えたときに問題が発生すること，SiOxNy 膜が引っ張り応力ではクラックが発生し，圧縮応力ではしわが発生することを確認した．Tg以下の成膜温度を用いることや無機膜の応力を -200〜100MPaに制御することで，クラックやしわ発生を抑制できる可能性を確認した．
