研究紹介
クラスタイオンビームを用いる表面分析技術の新展開
2014 年 83 巻 5 号 p. 371-375
詳細
2014 年 83 巻 5 号 p. 371-375
有機多層膜の深さ分析や分子イメージング技術など有機材料の表面分析に革新をもたらしたガスクラスタイオンビームを用いるXPS法やSIMS法が実用化され，いまや有機材料や有機デバイス開発に欠かせないツールとなっている．生命科学分野への応用を目指した新しいSIMS装置や分子イメージング技術など最新の研究成果を紹介し，クラスタイオンビーム技術の最先端の研究動向について議論する．
