応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開
橋口 原杉山 達彦年吉 洋
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ジャーナル 認証あり

2018 年 87 巻 6 号 p. 436-440

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抄録

半導体微細加工技術で作製されるシリコンを素材とした微小振動素子に,半永久帯電を与えるエレクトレット膜を形成する技術を開発した.この技術は振動子構造作製後,カリウムイオンを導入した酸化膜を表面に形成し,その後550°C程度の温度で振動子電極間に電圧を印加することで帯電させる.そのアプリケーションとして現在開発に注力している環境振動発電素子について説明するとともに,MEMS素子として実現可能となる,双安定アクチュエータや静電トランスなどの新機能素子についても紹介する.

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© 2018 公益社団法人応用物理学会
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