研究紹介
カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開
2018 年 87 巻 6 号 p. 436-440
詳細
2018 年 87 巻 6 号 p. 436-440
半導体微細加工技術で作製されるシリコンを素材とした微小振動素子に，半永久帯電を与えるエレクトレット膜を形成する技術を開発した．この技術は振動子構造作製後，カリウムイオンを導入した酸化膜を表面に形成し，その後550°C程度の温度で振動子電極間に電圧を印加することで帯電させる．そのアプリケーションとして現在開発に注力している環境振動発電素子について説明するとともに，MEMS素子として実現可能となる，双安定アクチュエータや静電トランスなどの新機能素子についても紹介する．
