応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
3次元リソグラフィ技術を用いた微細加工
鈴木 孝明
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2020 年 89 巻 10 号 p. 589-593

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抄録

半導体製造技術とそれを基盤としたMEMS技術は,3次元化が進んでいる.筆者らが提案するマイクロ・ナノ加工技術「3次元リソグラフィ法」は,ほかの方法では作製が困難な特殊な3次元微細形状を加工する技術であり,従来の機械加工技術と微細加工技術の空白領域をねらった,大面積複雑微細構造作製のための加工技術である.3次元リソグラフィ法の概要と,その応用展開として,特徴的な構造を集積化したポリマーMEMSからなる,振動発電素子やバイオマイクロシステムについて紹介する.また最後に,打ち明け話として本研究の着想について振り返り,今後の研究につなげたい.

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© 2020 公益社団法人応用物理学会
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