応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
高感度・高精細・リアルタイム近接容量イメージセンサ
黒田 理人山本 将大須川 成利
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ジャーナル 認証あり

2020 年 89 巻 6 号 p. 328-332

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抄録

近接容量イメージセンサは,計測対象にセンサを近づけた際に生じる近接容量の2次元分布を計測・可視化するセンサであり,指紋認証やタッチセンサ,材料内部の非破壊検査,液面レベルセンサなどに用いられている.今後はフラットパネル・電子回路基板の非接触電気検査,薄膜シート材料の異物検査,イオン濃度や生細胞の可視化などへの活用も期待されている.本稿では,CMOSイメージセンサの研究で培ったノイズリダクション技術を応用し,0.1aFの容量検出精度を達成した高感度・高精細・リアルタイム近接容量イメージセンサの原理,性能,計測応用事例を紹介する.

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© 2020 公益社団法人応用物理学会
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