研究紹介
高感度・高精細・リアルタイム近接容量イメージセンサ
2020 年 89 巻 6 号 p. 328-332
詳細
2020 年 89 巻 6 号 p. 328-332
近接容量イメージセンサは，計測対象にセンサを近づけた際に生じる近接容量の2次元分布を計測・可視化するセンサであり，指紋認証やタッチセンサ，材料内部の非破壊検査，液面レベルセンサなどに用いられている．今後はフラットパネル・電子回路基板の非接触電気検査，薄膜シート材料の異物検査，イオン濃度や生細胞の可視化などへの活用も期待されている．本稿では，CMOSイメージセンサの研究で培ったノイズリダクション技術を応用し，0.1aFの容量検出精度を達成した高感度・高精細・リアルタイム近接容量イメージセンサの原理，性能，計測応用事例を紹介する．
