酸化物透明導電膜における電子局在化と電子フォノン相互作用

抄録

高密度にドーピングされたことで金属状態にある高Hall移動度を特長とする酸化物透明導電薄膜におけるサイズ効果を紹介する．（3-α）次元超薄膜となる膜厚10nm（成膜時間は数秒）前後でのキャリヤ電子状態およびキャリヤ輸送の支配因子を議論した．キャリヤ密度を維持しながらの次元削減αが引き起こす格子秩序の乱れが室温環境下でのキャリヤ状態を局在化し，電子とフォノンとの相互作用が強くなることで電気・光学特性が大きく変化する．上記相互作用を決める3つの要素を明らかにする理論式を提案し展望を図る．