応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
イオン注入による表面改質
岩木 正哉
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1984 年 53 巻 8 号 p. 700-703

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抄録
電子産業で活発に利用されているイオン注入法を用いて金属表面を改質することが試みられて10年が経過した.今日,イオン注入による表面改質に供される材料は,金属からセラミックス,ポリマーに至るまで多岐にわたっている.ここでは,イオン注入によるダイヤモンド,ポリマーなどの電気的・電気化学的改質,また,工具鋼やWCの耐久性の向上など,実用化に近いイオン注入改質材について紹介する.さらにイオン注入関連技術として近年盛んに試みられているイオンビームミキシング技術についても触れる.
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© 社団法人 応用物理学会
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