窒化けい素のパルス通電焼結

抄録

パルス通電加圧焼結法により焼結した窒化けい素の高密度化と粒成長に及ぼす粉体特性の影響を検討した。α型とβ型のサブミクロン粉とβ型の微粉を昇温速度300K毎分で焼結温度において5分間加熱した。α型粉体からは1650℃で、β型微粉からは1580℃で高密度の焼結体が得られた。β型サブミクロン粉からは1650℃以上の焼結でも約95%の密度の焼結体しか得られなかった。