Low temperature sintering of fine AlN powder synthesized by floating-type direct nitridation of Al

Noriyasu Hotta; Yoshifumi Hosomichi; Reki Yonezawa; Toshihide Tobizuka; Kunihiro Yanagida

doi:10.14853/pcersj.2002F.0.294.0

第15回秋季シンポジウム

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2002F.0.294.0

会議情報

主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

浮上式窒化法で合成したAlN微粉末の低温用結

堀田憲康, 細道善文, 米澤歴, 飛塚俊秀, 柳田国宏

著者情報

キーワード: 窒化アルミニウム, 直接窒化反応, 微粉末, 低温焼結, 高熱伝導

会議録・要旨集フリー

p. 294

詳細

抄録

高純度Al粉末の1550℃での浮上式流動層窒化反応により, 高純度且つ微細なAlN粉末を合成した. このAlN微粉末を使用し, 7wt%のYF₃を焼結助剤として用い, 窒素雰囲気中, 1700℃で120min焼結すると170W/mKの高熱伝導AlNセラミックスが得られた. この場合のAlNの粒子径は2∼3μmであった. しかし, 市販の高純度AlN粉末を使用すると高熱伝導AlNセラミックスが得られなかった.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）