NO2ガスを用いたPLD法によるZnO薄膜の作製

抄録

透明高導電性膜や紫外発光素子への応用を目指して酸化亜鉛薄膜の研究が現在活発におこなわれている。NO2雰囲気中での酸化亜鉛薄膜合成は残留キャリア濃度の低減と同時に窒素ドープによるp型化が実現できる可能性がある。本研究では、PLD法によりNO2中で酸化亜鉛薄膜を作製し、その結晶構造、電気特性、光学特性について評価した。