エアロゾルデポジション法による圧電厚膜の微細パターニング特性

抄録

エアロゾルデポジション法(AD法)を用いて、圧電厚膜(PZT)の微細パターニング特性を評価した。マスクを通して成膜を行い、50μm幅、アスペクト比1のラインパターンが描画できた。また、この手法では成膜とエッチングが同時に進行し、成膜特性は粒子の基板への入射角度に大きく依存することが判った。