エアロゾルデポジション法におけるナノ結晶セラミックス膜常温形成メカニズム

抄録

エアロゾルデポジション（AD)法を用いて、ナノ結晶組織のα_-_アルミナ厚膜を常温形成することに成功している。本発表では、その成膜メカニズムを中心に、AD法の原理と特徴、その応用について紹介する。