レーザーCVDによるYSZ膜の超高速合成とナノ構造制御

抄録

本研究者らは、近年、レーザーをMOCVDに導入することによって、各種酸化物膜を超高速（最高2-3mm/h）で成膜できることを見出した。特に、YSZ膜は、熱遮蔽コーティング（TBC）として、各国で精力的に研究されている材料であり、一般には、大気圧溶射やEB-PVDで作製されているが、レーザーCVDでそれらの方法と同等の成膜速度を達成することが可能である。また、本法で得られたYSZ膜中には、多量のナノポアが含まれ、熱伝導度の低減に極めて効果的である。　本講演では、YSZ膜のレーザーCVDでの合成条件とナノ構造およびTBCとしての特性について発表する。