高濃度イオン注入酸化亜鉛中の欠陥変化

抄録

酸化亜鉛にアルゴン等のガス系イオンを高濃度でイオン注入し、各ドースでの十分な熱処理後の安定な欠陥に起因する発光を調べた。発光波長はドース量の増加に伴い長波長側にシフトし波長が安定化する。また、高ドース量では熱処理時間の増大に伴い、波長の長波長側へのシフトが見られた。最後に、酸素拡散から観察した結晶内の欠陥構造と発光波長との関係を研究した。