抄録
LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)は、携帯電話等に搭載される高周波モジュール部品向けの基板材料として用いられている。LTCCは、これらの部品の小型化、高集積化、高機能化に重要な役割を果たしている。一方、衝撃等による基板の破壊等を防止するために、高い破壊強度を示すLTCCが求められている。そこで、3点曲げ強度が400MPaを示す高強度LTCCを開発した。開発した高強度LTCCは、高い機械的信頼性と高い実効導電率を示す。本報では、高強度LTCCの材料設計とその特性に関して報告する。