レーザ照射による非晶質鉄シリサイドの相転移

抄録

環境負荷が小さく、低コストで、軽量、高出力の熱電素子を作製するための基礎研究として、室温でのシリサイド薄膜熱電材料の作製法を検討している。現在、室温作製した鉄シリサイド薄膜は非晶質部を含み、熱電特性を低下させている。そこで、Nd:YAGレーザを短時間照射することにより、非晶質鉄シリサイドをβ-FeSi2化することを試みた。その結果、レーザ照射により、β化が可能であることが明らかとなった。