抄録
非平衡プラズマは，電子温度が他の粒子に比べて高いプラズマである．このプラズマは，真空下での放電によって容易に得られるが，大気圧下においてもナノ秒オーダーの高電圧短パルスによって得られる．大気圧非平衡プラズマでは，周囲の温度上昇を抑制しつつも試料に高いエネルギーを印加できる．したがって，ナノ秒パルス電源による大気圧非平衡プラズマを用いることによって，常温大気圧下で材料合成が行えるため装置の受ける制約を少なくでき，効率の良い材料合成が可能となる．これまで半導体オープニングスイッチを用いた高電圧大電流のナノ秒パルス電源の開発に成功し，約50kV，パルス幅約50nsのパルス発生を行うことが出来た．本研究では，これを利用した有機金属錯体といった物質の変換プロセスの開発を目的とした．
