AD法によるBaTiO₃系自立膜の作製とそのサイズ効果

抄録

エアロゾルデポジション法（AD）を用いて，これまで作成が困難であったBaTiO₃系ナノ粒子セラミックスを作製し，そのサイズ効果について検討を行なった．AD法でSrTiO₃基板上に作製したBaTiO₃厚膜に600℃で熱処理を施すことで，BaTiO₃の自立膜を得た。またこれを様々な温度で再び熱処理することによって粒径の制御を試みた．その結果，粒径24～170 nmのナノ粒子セラミックスを得ることができた．誘電特性を評価したところ，本研究で得られた粒子の領域では，粒子の減少とともに誘電率が減少した．また，Ba(Zr,Ti)O₃は純粋なBaTiO₃以上にサイズ効果の影響を受けやすく，誘電率の低下が大きいことが明らかになった．