BaTiO₃の固溶によるBiFeO₃薄膜の微細組織変化

抄録

本研究ではCSD法を用いてSrTiO₃(001)上にBiFeO₃- BaTiO ₃エピタキシャル薄膜を成膜し、配向性を向上させるために高温ポストアニールを試み、結晶性および組織の観点からナノ構造を調査した。配向性はXRD法、微細組織は透過電子顕微鏡による断面組織観察を行った。BaTiO₃の固溶量およびアニール条件がBiFeO₃薄膜の微細組織に及ぼす影響について検討した。